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Methods of forming non-volatile memory cells, and methods of forming NAND cell unit string gates

机译:形成非易失性存储单元的方法以及形成NAND单元单元串门的方法

摘要

Some embodiments include methods of utilizing polysilazane in forming non-volatile memory cells. The memory cells may be multi-level cells (MLCs). The polysilazane may be converted to silicon nitride, silicon dioxide, or silicon oxynitride with thermal processing and exposure to an ambient that contains one or both of oxygen and nitrogen. The methods may include using the polysilazane in forming a charge trapping layer of a non-volatile memory cell. The methods may alternatively, or additionally include using the polysilazane in forming intergate dielectric material of a non-volatile memory cell. Some embodiments include methods of forming memory cells of a NAND memory array.
机译:一些实施例包括在形成非易失性存储单元中利用聚硅氮烷的方法。存储器单元可以是多层单元(MLC)。聚硅氮烷可以通过热处理并暴露于包含氧和氮之一或二者的环境中而转化为氮化硅,二氧化硅或氧氮化硅。该方法可以包括在形成非易失性存储单元的电荷俘获层中使用聚硅氮烷。该方法可替代地或另外地包括在形成非易失性存储单元的栅间电介质材料中使用聚硅氮烷。一些实施例包括形成NAND存储器阵列的存储器单元的方法。

著录项

  • 公开/公告号US7915126B2

    专利类型

  • 公开/公告日2011-03-29

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 RONALD A. WEIMER;

    申请/专利号US20070706177

  • 发明设计人 RONALD A. WEIMER;

    申请日2007-02-14

  • 分类号H01L21/336;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 18:08:12

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