公开/公告号JP2012069806A
专利类型
公开/公告日2012-04-05
原文格式PDF
申请/专利权人 HITACHI CHEM CO LTD;
申请/专利号JP20100214316
发明设计人 KIZAWA KEIKO;YOSHIDA MASATO;NOJIRI TAKESHI;OKANIWA KAORU;MACHII YOICHI;IWAMURO MITSUNORI;ADACHI SHUICHIRO;SATO TETSUYA;
申请日2010-09-24
分类号H01L21/225;H01L31/04;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 17:38:51