机译:杂质扩散层形成组合物,n型扩散层形成组合物,n型扩散层的制造方法,p型扩散层形成组合物,p型扩散层的制造方法以及制造方法
公开/公告号WO2011162394A1
专利类型
公开/公告日2011-12-29
原文格式PDF
申请/专利权人 HITACHI CHEMICAL COMPANY LTD.;SATOU TETSUYA;YOSHIDA MASATO;NOJIRI TAKESHI;OKANIWA KAORU;MACHII YOUICHI;IWAMURO MITSUNORI;KIZAWA KEIKO;ADACHI SHUUICHIROU;
申请/专利号WO2011JP64591
发明设计人 SATOU TETSUYA;YOSHIDA MASATO;NOJIRI TAKESHI;OKANIWA KAORU;MACHII YOUICHI;IWAMURO MITSUNORI;KIZAWA KEIKO;ADACHI SHUUICHIROU;
申请日2011-06-24
分类号H01L21/225;C03C8/18;H01L31/04;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 17:18:30