公开/公告号WO2013082800A1
专利类型
公开/公告日2013-06-13
原文格式PDF
申请/专利权人 INSTITUTE OF MICROELECTRONICS CHINESE ACADEMY OF SCIENCES;LI HAILIANG;XIE CHANGQING;LIU MING;SHI LINA;ZHU XIAOLI;LI DONGMEI;
申请/专利号WO2011CN83744
申请日2011-12-09
分类号G03F1/32;G03F1/24;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 16:32:37