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INTEGRATED CIRCUITS HAVING BORON-DOPED SILICON GERMANIUM CHANNELS AND METHODS FOR FABRICATING THE SAME

机译:具有掺硼硅锗通道的集成电路及其制造方法

摘要

Integrated circuits and methods for fabricating integrated circuits are provided. One method includes recessing a PFET active region to form a recessed PFET surface region. A boron-doped SiGe channel is formed overlying the recessed PFET surface region.
机译:提供了集成电路和用于制造集成电路的方法。一种方法包括使PFET有源区凹陷以形成凹陷的PFET表面区。在凹陷的PFET表面区域上方形成掺硼的SiGe沟道。

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