公开/公告号US8816470B2
专利类型
公开/公告日2014-08-26
原文格式PDF
申请/专利权人 KARL R. ERICKSON;PHIL C. PAONE;DAVID P. PAULSEN;JOHN E. SHEETS II;GREGORY J. UHLMANN;KELLY L. WILLIAMS;
申请/专利号US201113091275
发明设计人 GREGORY J. UHLMANN;DAVID P. PAULSEN;JOHN E. SHEETS II;KELLY L. WILLIAMS;PHIL C. PAONE;KARL R. ERICKSON;
申请日2011-04-21
分类号H01L29/06;H01L21/762;
国家 US
入库时间 2022-08-21 16:04:18