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公开/公告号US2015102283A1
专利类型
公开/公告日2015-04-16
原文格式PDF
申请/专利号US201414302842
发明设计人 KAZUHIKO MATSUMOTO;ATSUHIKO KOJIMA;SATORU NAGAO;MASANORI KATOU;YUTAKA YAMADA;KAZUHIRO NAGAIKE;YASUO IFUKU;HIROSHI MITANI;
申请日2014-06-12
分类号G01N27/414;H01L29/76;H01L29/423;H01L29/06;
国家 US
入库时间 2022-08-21 15:25:58