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单电子晶体管、场效应晶体管、传感器、传感器的制造方法及检测方法

摘要

本发明涉及至少具有衬底(1)、与该衬底(1)的上部对置而设置的源极(3)和漏极(4)、设置在该源极(3)和漏极(4)之间的沟道的单电子晶体管,通过以超微细纤维(CNT)(7)构成所述沟道,提供具有优异的灵敏度的传感器。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-05-08

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N27/00 授权公告日:20110420 终止日期:20190521 申请日:20040521

    专利权的终止

  • 2011-04-20

    授权

    授权

  • 2006-08-23

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2006-06-28

    公开

    公开

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