公开/公告号US2015115982A1
专利类型
公开/公告日2015-04-30
原文格式PDF
申请/专利号US201314068273
发明设计人 FEN CHEN;TIMOTHY DOOLING SULLIVAN;MUKTA G. FAROOQ;JOHN A. GRIESEMER;CHANDRASEKHARAN KOTHANDARAMAN;JOHN MATTHEW SAFRAN;
申请日2013-10-31
分类号G01B7/00;G01R27/26;H01L21/66;
国家 US
入库时间 2022-08-21 15:23:26