公开/公告号US8956983B2
专利类型
公开/公告日2015-02-17
原文格式PDF
申请/专利号US201213607386
申请日2012-09-07
分类号H01L21/469;H01L21/31;H01L21/311;C23C16/04;C23C16/34;C23C16/40;C23C16/455;C23C16/56;H01L21/02;H01L21/768;H01L21/225;H01L29/66;
国家 US
入库时间 2022-08-21 15:20:03