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机译:在SiO2,TiO2,Al2O3和HFO2的等离子体辅助原子层沉积期间O原子的膜胶合性和提取的重组概率(Vol 123,PG 27030,2019)
机译:在SiO2,TiO2,Al2O3和HFO2的等离子体辅助原子层沉积过程中膜胶合性和o原子的重组概率
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机译:介孔二氧化硅上ZnO的原子层沉积:通过原位热重分析了解ZnO的生长行为
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