公开/公告号US9177761B2
专利类型
公开/公告日2015-11-03
原文格式PDF
申请/专利权人 SHUNPEI YAMAZAKI;
申请/专利号US20100860118
发明设计人 SHUNPEI YAMAZAKI;
申请日2010-08-20
分类号C30B21/02;H01J37/32;C23C16/455;C23C16/509;H01L29/04;H01L29/66;H01L29/786;H01L21/02;
国家 US
入库时间 2022-08-21 15:19:58