公开/公告号US9064928B2
专利类型
公开/公告日2015-06-23
原文格式PDF
申请/专利号US201314059613
申请日2013-10-22
分类号H01L21/02;H01L21/762;H01L29/10;H01L29/66;H01L29/778;H01L29/20;H01L29/205;H01L21/76;H01L29/06;H01L23/485;H01L27/06;H01L27/088;
国家 US
入库时间 2022-08-21 15:19:48