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公开/公告号US9129801B2
专利类型
公开/公告日2015-09-08
原文格式PDF
申请/专利权人 FRIEDERIKE FLEISCHHAKER;IMME DOMKE;ANDREY KARPOV;MARCEL KASTLER;VERONIKA WLOKA;LOTHAR WEBER;
申请/专利号US201013378765
申请日2010-06-15
分类号H01L21/00;H01L21/16;H01L21/02;H01L29/10;H01L29/12;
国家 US
入库时间 2022-08-21 15:18:16