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Manufacturing Method For Cylindrical Type Plasmonic Meta-Material Structure With Nano-Sized

机译:纳米圆柱型等离子亚材料结构的制备方法

摘要

Disclosed is a method for manufacturing a nano-sized cylindrical plasmonic and metamaterial structure, which comprises a base alignment step (S210) of aligning a nano-sized cylindrical base (110) to erect; a first metal deposition step (S220) of aligning a first metal material (120) on each of an inner side and an outer side of the base (110), which face a first deposition direction (D_1), and the top end of the base (110) by depositing the first metal material (120), at a position (_1) on a circumference spaced apart from the aligned base (110) with a specific distance, toward the base (110) in the first deposition direction (D_1) inclining downwards at a specific angle (_1) from a horizontal reference line (L_1); and a top end portion removal step (S240) of forming the cylindrical plasmonic and metamaterial structure (100) by removing the first metal material (120) on the top end of the base (110) deposited in the first metal deposition step (S220).
机译:公开了一种用于制造纳米尺寸的圆柱形等离子和超材料结构的方法,该方法包括将纳米尺寸的圆柱形基底(110)对准以竖立的基底对准步骤(S210)。第一金属沉积步骤(S220),其使面对第一沉积方向(D_1)的基底(110)的内侧和外侧中的每一个上的第一金属材料(120)与该第一金属材料(120)的顶端对齐。通过在与对准的基底(110)隔开一定距离的圆周上的位置(_1)上沿第一沉积方向(D_1)向基底(110)沉积第一金属材料(120),来沉积基底(110) )从水平参考线(L_1)以特定角度(_1)向下倾斜;通过去除在第一金属沉积步骤(S220)中沉积的基底(110)的顶端上的第一金属材料(120),形成圆柱形等离子和超材料结构(100)的顶端部分去除步骤(S240)。 。

著录项

  • 公开/公告号KR101499496B1

    专利类型

  • 公开/公告日2015-03-18

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人

    申请/专利号KR20130085124

  • 发明设计人 박준모;백정민;

    申请日2013-07-19

  • 分类号G02B1;C23C28;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-21 14:58:34

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