公开/公告号EP2834853A4
专利类型
公开/公告日2015-12-09
原文格式PDF
申请/专利号EP20130754582
发明设计人 VORA NIRAV;ROMERO MANUEL;JIMENEZ SEBASTIAN CAPARROS;CORTEZON EMILIO SANCHEZ;ALBIN DAVID S.;GUTIERREZ JOAQUIN MURILLO;
申请日2013-02-27
分类号H01L31/0272;C23C14/06;C23C14/22;C23C16/30;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/46;H01L21/02;H01L31/032;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 14:49:21