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Methods for fabricating high aspect ratio probes and deforming high aspect ratio nanopillars and micropillars

机译：高纵横比探针的制造方法和使高纵横比纳米柱和微柱变形的方法

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Methods for fabricating of high aspect ratio probes and deforming micropillars and nanopillars are described. Use of polymers in deforming nanopillars and micropillars is also described.

机译：描述了制造高纵横比探针并使微柱和纳米柱变形的方法。还描述了聚合物在使纳米柱和微柱变形中的用途。

著录项

公开/公告号US9390936B2

专利类型
公开/公告日2016-07-12

原文格式PDF
申请/专利权人 CALIFORNIA INSTITUTE OF TECHNOLOGY;STEPHANIE TOMBRELLO;
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申请/专利号US201414527039
发明设计人 ANDREW P. HOMYK;THOMAS A. TOMBRELLO;MICHAEL D. HENRY;SAMEER WALAVALKAR;AXEL SCHERER;
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申请日2014-10-29
分类号G01N1/18;H01L21/308;B81C1/00;H01L21/3065;G01N1/40;
国家 US
入库时间 2022-08-21 14:32:43

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