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具有均匀且高纵横比的纳米间隙的柱阵列结构

摘要

提供了涉及分选实体技术。入口被配置为接收流体,以及出口被配置为排出流体。连接到入口和出口的纳米柱阵列被配置为允许流体从入口流到出口。纳米柱阵列包括被布置为按大小分离实体的纳米柱。纳米柱被布置为具有将一个纳米柱与另一个纳米柱分离的间隙。间隙被构造为在纳米尺度范围中。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2018-06-19

    授权

    授权

  • 2017-09-12

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01N33/68 申请日:20151117

    实质审查的生效

  • 2017-08-18

    公开

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