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Method for forming monolayer graphene-boron nitride heterostructures

机译:形成单层石墨烯-氮化硼异质结构的方法

摘要

A method for fabricating monolayer graphene-boron nitride heterostructures in a single atomically thin membrane that limits intermixing at boundaries between graphene and h-BN, so as to achieve atomically sharp interfaces between these materials. In one embodiment, the method comprises exposing a ruthenium substrate to ethylene, exposing the ruthenium substrate to oxygen after exposure to ethylene and exposing the ruthenium substrate to borazine after exposure to oxygen.
机译:一种在单个原子薄膜中制造单层石墨烯-氮化硼异质结构的方法,该方法限制了石墨烯与h-BN之间的边界处的混合,从而在这些材料之间实现了原子上清晰的界面。在一个实施方案中,该方法包括:将钌底物暴露于乙烯;将钌底物暴露于乙烯后暴露于氧气;以及将钌底物暴露于氧之后暴露于硼嗪。

著录项

  • 公开/公告号US9410243B2

    专利类型

  • 公开/公告日2016-08-09

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 BROOKHAVEN SCIENCE ASSOCIATES LLC;

    申请/专利号US201414453314

  • 发明设计人 ELI ANGUELOVA SUTTER;PETER WERNER SUTTER;

    申请日2014-08-06

  • 分类号C23C16/34;H01L21/02;C23C16/26;C30B25/02;C30B25/18;C30B29/02;C01B31/04;C01B35/14;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 14:29:01

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