公开/公告号US9252057B2
专利类型
公开/公告日2016-02-02
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号US201314052085
发明设计人 MOHAMMAD KAMRUZZAMAN CHOWDHURY;WEI-SHENG LEI;TODD EGAN;BRAD EATON;MADHAVA RAO YALAMANCHILI;AJAY KUMAR;
申请日2013-10-11
分类号H01L21/82;H01L21/67;H01L21/78;H01L21/683;
国家 US
入库时间 2022-08-21 14:28:17