公开/公告号WO2016117359A1
专利类型
公开/公告日2016-07-28
原文格式PDF
申请/专利权人 TOKYO ELECTRON LIMITED;
申请/专利号WO2016JP50265
申请日2016-01-06
分类号H01L43/12;C23C14/58;H01F10/16;H01F10/26;H01F41/18;H01L21/8246;H01L27/105;H01L43/08;H01L43/10;
国家 WO
入库时间 2022-08-21 14:17:05