公开/公告号US9653260B2
专利类型
公开/公告日2017-05-16
原文格式PDF
申请/专利权人 FEI COMPANY;
申请/专利号US201213691270
发明设计人 PAUL KEADY;BRENNAN PETERSON;GUUS DAS;CRAIG HENRY;LARRY DWORKIN;JEFF BLACKWOOD;STACEY STONE;MICHAEL SCHMIDT;
申请日2012-11-30
分类号G01N1/32;H01J37/305;C23C14/58;H01J37/28;H01J37/30;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:45:45