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公开/公告号CN103946684B
专利类型发明专利
公开/公告日2017-06-23
原文格式PDF
申请/专利权人 FEI 公司;
申请/专利号CN201280059036.6
发明设计人 P.基迪;B.彼得森;G.达斯;C.亨利;L.德沃金;J.布莱克伍德;S.斯通;M.施米德特;
申请日2012-11-30
分类号G01N1/28(20060101);H01J37/26(20060101);
代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;
代理人张凌苗;陈岚
地址 美国俄勒冈州
入库时间 2022-08-23 09:57:23
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-06-23
授权
2014-08-20
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 1/28 申请日:20121130
实质审查的生效
2014-07-23
公开
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