公开/公告号US10283317B2
专利类型
公开/公告日2019-05-07
原文格式PDF
申请/专利权人 FEI COMPANY;
申请/专利号US201715595773
发明设计人 PAUL KEADY;BRENNAN PETERSON;GUUS DAS;CRAIG MATTHEW HENRY;LARRY DWORKIN;JEFF BLACKWOOD;STACEY STONE;MICHAEL SCHMIDT;
申请日2017-05-15
分类号C23C14/34;H01J37/305;C23C14/58;C23F1/02;H01J37/28;G01N1/32;H01J37/30;H01J37/20;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:11:40