公开/公告号US9786503B2
专利类型
公开/公告日2017-10-10
原文格式PDF
申请/专利权人 TOKYO ELECTRON LIMITED;
申请/专利号US201615089961
申请日2016-04-04
分类号H01L21/302;H01L21/461;C03C15/00;C03C25/68;C23F1/00;B44C1/22;H01L21/033;H01L21/311;H01L21/027;H01L21/02;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:43:24