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MICROBOLOMETER, METHOD FOR PRODUCING A MICROBOLOMETER, AND METHOD FOR DETECTING AN ELECTROMAGNETIC EMISSION

机译:微量滴定仪,微量滴定仪的制造方法以及电磁辐射的检测方法

摘要

The invention relates to a microbolometer (100) having an absorption layer (104) for absorbing an electromagnetic emission (106), and at least one single electron transistor (102) that is or can be thermally coupled to said absorption layer (104) and comprises a drain connection (D) and a source connection (S), the single electron transistor (102) being designed to alter a current flow between the drain connection (D) and the source connection (S) depending on a temperature of the absorption layer (104).
机译:本发明涉及一种微测辐射热计(100),其具有用于吸收电磁辐射(106)的吸收层(104),以及至少一个单电子晶体管(102),该至少一个单电子晶体管(102)与或可以热耦合到所述吸收层(104)和包括漏极连接(D)和源极连接(S),单电子晶体管(102)设计为根据吸收温度改变漏极连接(D)和源极连接(S)之间的电流层(104)。

著录项

  • 公开/公告号WO2017084858A1

    专利类型

  • 公开/公告日2017-05-26

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 ROBERT BOSCH GMBH;

    申请/专利号WO2016EP76009

  • 发明设计人 UTERMOEHLEN FABIAN;

    申请日2016-10-28

  • 分类号G01J5/20;G01J5/22;H01L29/66;

  • 国家 WO

  • 入库时间 2022-08-21 13:31:00

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