机译:气体导入保持装置,气体导入保持方法及气体排出头
公开/公告号JPWO2017149654A1
专利类型
公开/公告日2018-03-08
原文格式PDF
申请/专利权人 ヒロセ・ユニエンス株式会社;
申请/专利号JP20160556331
申请日2016-03-01
分类号B01F5/06;B01F1;B01F3/04;B01F15/02;B01F11/02;C02F1/50;C02F1/68;C02F1/72;
国家 JP
入库时间 2022-08-21 13:06:28