公开/公告号US2018294155A1
专利类型
公开/公告日2018-10-11
原文格式PDF
申请/专利号US201615572059
发明设计人 OLIVIER SOPPERA;HSIAO-WEN ZAN;HUNG-CHENG LIN;CHANG-HUNG LI;FABRICE STEHLIN;ARNAUD SPANGENBERG;FERNAND WLEDER;CHUNG-CHEN YEH;
申请日2016-05-03
分类号H01L21/02;G03F7/20;G03F7/16;G03F7/30;
国家 US
入库时间 2022-08-21 13:02:46