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Permanent magnetic chuck for OLED mask chucking

机译:OLED吸盘用永磁吸盘

摘要

A permanent magnetic mask chuck is described herein. The permanent magnetic mask chuck includes a body with a plurality of permanent magnets positioned therein. The permanent magnets can then deliver a magnetic force to a mask to position and hold the mask over or on the substrate for further deposition.
机译:本文描述了永磁掩膜卡盘。永磁面罩卡盘包括主体,该主体中定位有多个永磁体。永磁体然后可以将磁力传递到掩模以将掩模定位并保持在衬底上方或上方以进一步沉积。

著录项

  • 公开/公告号US9959961B2

    专利类型

  • 公开/公告日2018-05-01

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;

    申请/专利号US201414463825

  • 发明设计人 JOHN M. WHITE;ZUOQIAN WANG;

    申请日2014-08-20

  • 分类号H01L21/683;H01F7/02;G03F7/20;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 12:56:18

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