机译:用EUVL面罩卡盘进行静电夹紧:颗粒问题
Fraunhofer Institut fUr Angewandte Optik und Feinmechanik, 07745 Jena, Germany;
Computational Mechanics Center, University of Wisconsin, Madison, WI 53706, USA;
Fraunhofer Institut fUr Angewandte Optik und Feinmechanik, 07745 Jena, Germany;
Fraunhofer Institut fUr Angewandte Optik und Feinmechanik, 07745 Jena, Germany;
Fraunhofer Institut fUr Angewandte Optik und Feinmechanik, 07745 Jena, Germany;
Fraunhofer Institut fUr Angewandte Optik und Feinmechanik, 07745 Jena, Germany;
electrostatic chuck; pin chuck; particles; euvl; mask; e-beam;
机译:确定EUVL面罩卡盘的局部静电力
机译:静电吸盘过程中极紫外光刻掩模的起电和颗粒附着的研究
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机译:静电吸盘中EUVL掩模变形行为的分析处理
机译:校正策略以补偿在EUVL掩模卡盘过程中引起的图像放置错误。
机译:用于质量传感的静电致动夹紧式微束的反对称模式振动
机译:用自适应夹紧元件夹紧车床卡盘中的技术因素对车削零件动态误差形成的影响
机译:使用Zoneplate显微镜进行光化EUVL掩模成像的性能。