公开/公告号US9859281B2
专利类型
公开/公告日2018-01-02
原文格式PDF
申请/专利号US201615219894
申请日2016-07-26
分类号H01L27/092;H01L21/308;H01L29/66;H01L21/306;H01L21/033;H01L21/3065;H01L27/088;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L29/78;H01L29/04;H01L29/10;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:55:10