公开/公告号US9941387B2
专利类型
公开/公告日2018-04-10
原文格式PDF
申请/专利权人 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING INTERNATIONAL (BEIJING) CORPORATION;SEMICONDUCTOR MANUFACTURING INTERNATIONAL (SHANGHAI) CORPORATION;
申请/专利号US201615350726
申请日2016-11-14
分类号H01L29/66;H01L29/78;H01L29/06;H01L29/423;H01L21/8234;H01L21/8238;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:54:38