公开/公告号US10304659B2
专利类型
公开/公告日2019-05-28
原文格式PDF
申请/专利权人 LAM RESEARCH CORPORATION;
申请/专利号US201815952834
发明设计人 KEREN JACOBS KANARIK;SAMANTHA TAN;THORSTEN LILL;MEIHUA SHEN;YANG PAN;JEFFREY MARKS;RICHARD WISE;
申请日2018-04-13
分类号H01J37/32;H01L21/321;H01L21/3105;H01L21/3213;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;G03F1/60;C23F1/22;G03F1/22;C23F4;H01L21/306;
国家 US
入库时间 2022-08-21 12:13:33