公开/公告号KR20170031041A
专利类型
公开/公告日2017-03-20
原文格式PDF
申请/专利权人 LAM RESEARCH CORPORATION;
申请/专利号KR20160113157
发明设计人 KANARIK KEREN JACOBS;TAN SAMANTHA;LILL THORSTEN;SHEN MEIHUA;PAN YANG;MARKS JEFFREY;WISE RICHARD;
申请日2016-09-02
分类号H01L21/02;H01L21/3065;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 13:27:54