公开/公告号KR20190089458A
专利类型
公开/公告日2019-07-31
原文格式PDF
申请/专利权人 SEOUL NATIONAL UNIVERSITY R&DB FOUNDATION;SOGANG UNIVERSITY RESEARCH & BUSINESS DEVELOPMENT FOUNDATION;
申请/专利号KR20180007972
申请日2018-01-22
分类号H01L21/3213;H01L21/48;
国家 KR
入库时间 2022-08-21 11:50:16