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METHOD FOR PRODUCING A MONOCRYSTALLINE LAYER OF GAAS MATERIAL AND SUBSTRATE FOR EPITAXIC GROWTH OF A MONOCRYSTALLINE LAYER OF GAAS MATERIAL

机译:制备gaas材料的单晶层的方法和gaas材料的单晶层的外延生长的基质

摘要

A method of manufacturing a monocrystalline layer of GaAs material comprising transferring a monocrystalline seed layer of SrTiO3 material to a silicon material support substrate followed by epitaxial growth of a monocrystalline layer of GaAs material.
机译:一种制造GaAs材料的单晶层的方法,包括将SrTiO3材料的单晶种子层转移到硅材料支撑衬底上,然后外延生长GaAs材料的单晶层。

著录项

  • 公开/公告号FR3079534A1

    专利类型

  • 公开/公告日2019-10-04

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 SOITEC;

    申请/专利号FR20180000252

  • 发明设计人 BRUNO GHYSELEN;

    申请日2018-03-28

  • 分类号C30B29/42;C30B25/18;H01L21/762;

  • 国家 FR

  • 入库时间 2022-08-21 11:43:41

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