公开/公告号US10794853B2
专利类型
公开/公告日2020-10-06
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号US201715833552
申请日2017-12-06
分类号G01N27/414;C23C16/46;C23C16/52;H01L23/29;H01L21/56;H01L21/285;H01L21/312;H01L21/47;H01L21/02;C23C16/448;
国家 US
入库时间 2022-08-21 11:28:19