公开/公告号CN110023536A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-07-16
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201780072860.8
申请日2017-12-07
分类号C23C16/452(20060101);C23C16/448(20060101);H01L21/02(20060101);
代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国;赵静
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2024-02-19 12:13:37
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-01-03
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/452 申请日:20171207
实质审查的生效
2019-07-16
公开
公开
机译: 通过热丝化学气相沉积法沉积用于传感器的聚合物层的方法
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