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Laterally diffused mosfet with locos dot

机译:横向扩散的mosfet带有疯子点

摘要

The present disclosure relates to semiconductor structures and, more particularly, to a laterally diffused MOSFET (LDMOS) and methods of manufacture. The structure includes: a gate structure having a drain region and a source region; and an oxidation extending from the gate structure to the drain region of the gate structure, the oxidation comprising a thinner oxide portion and a thicker oxide portion.
机译:本公开涉及半导体结构,并且更具体地涉及横向扩散的MOSFET(LDMOS)及其制造方法。该结构包括:具有漏极区和源极区的栅极结构;从栅极结构延伸到栅极结构的漏极区的氧化,包括较薄的氧化物部分和较厚的氧化物部分。

著录项

  • 公开/公告号US10797171B2

    专利类型

  • 公开/公告日2020-10-06

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 GLOBALFOUNDRIES SINGAPORE PTE. LTD.;

    申请/专利号US201816012358

  • 发明设计人 GUOWEI ZHANG;

    申请日2018-06-19

  • 分类号H01L29/78;H01L29/423;H01L27/092;H01L29/40;H01L29/66;

  • 国家 US

  • 入库时间 2022-08-21 11:27:47

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