公开/公告号US10640884B2
专利类型
公开/公告日2020-05-05
原文格式PDF
申请/专利号US201616090087
申请日2016-12-28
分类号H01L29/861;C30B29/02;H01L31/036;H01L29/24;C30B23;H01L31/18;H01L31/032;H01L31/101;H01L21/02;H01L29/12;C01B25/02;C30B9/04;H01L31/0264;H01L31/09;H01L51/42;
国家 US
入库时间 2022-08-21 11:27:11