公开/公告号US2020321210A1
专利类型
公开/公告日2020-10-08
原文格式PDF
申请/专利权人 APPLIED MATERIALS INC.;
申请/专利号US202016797111
发明设计人 MEENAKSHI GUPTA;RUI CHENG;SRINIVAS GUGGILLA;KARTHIK JANAKIRAMAN;DIWAKAR N. KEDLAYA;ZUBIN HUANG;
申请日2020-02-21
分类号H01L21/027;H01L21/32;H01L21/02;
国家 US
入库时间 2022-08-21 11:20:25