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INSPECTING DEVICE

机译:检查设备

摘要

The present invention realizes an inspection apparatus capable of efficiently testing a device in a different environment without causing an excessively large size of the inspection apparatus and an excessively slowing down the inspection speed. The inspection apparatus includes a first index table, a second index table, and an arm for moving and mounting a device between the first index table and the second index table. The first index table is tested in a room temperature environment, and the second index table is tested in a high temperature environment.
机译:本发明实现了一种检查设备,该检查设备能够在不同的环境中有效地测试设备,而不会引起检查设备的尺寸过大和检查速度的过度降低。该检查设备包括第一索引台,第二索引台以及用于在第一索引台和第二索引台之间移动和安装设备的臂。第一个索引表在室温环境下进行测试,第二个索引表在高温环境下进行测试。

著录项

  • 公开/公告号KR20200115347A

    专利类型

  • 公开/公告日2020-10-07

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 신토고교 가부시키가이샤;

    申请/专利号KR20200037447

  • 发明设计人 하마다 타카유키;

    申请日2020-03-27

  • 分类号G01R31/28;H01L21/677;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-21 11:05:51

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