场致发射扫描俄歇电子显微镜

摘要

俄歇电子显微镜装有场致发射尖头(10)，维持在样品(7)的表面上相距一基本恒定的距离处。尖头(10)可由尖端半径为～50nm的钨(100)触须所组成，其工作距离的数量级为1mm。从样品(7)表面发射的俄歇电子由电子能量分析器(11)收集以便进行常规处理。在尖头(10)及样品(7)之间的相互扫描移位由XYZ驱动模件(6)完成，它还负责调整尖头(10)的工作距寓。整个显微镜装置装在振荡阻尼系统(4，5)上，且如有需要，可用合适的法兰盘投进真空系统。