公开/公告号CN101924087B
专利类型发明专利
公开/公告日2012-01-25
原文格式PDF
申请/专利权人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;
申请/专利号CN200910052807.9
发明设计人 李德君;
申请日2009-06-09
分类号
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人屈蘅
地址 201203 上海市张江路18号
入库时间 2022-08-23 09:09:05
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-01-25
授权
授权
2011-02-02
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 23/482 申请日:20090609
实质审查的生效
2010-12-22
公开
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