预处理TEM样品以及对样品进行TEM测试的方法

摘要

一种预处理TEM样品的方法，在样品表面形成与样品表面结合紧密、且不与样品表面的物质发生反应的有机物膜层。所述的有机物膜层为聚乙烯醇缩甲醛膜或者M-bond膜。采用本发明所述的方法在样品表面形成有机物膜层，有效解决了现有技术中采用FIB方法对TEM样品进行切割时对样品的损伤，而且，所述有机物膜层的选择范围广，制作方法简单。