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一种玻璃衬底绒面结构ZnO薄膜及应用

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一种玻璃衬底绒面结构ZnO薄膜，利用磁控溅射技术制备，以玻璃为衬底，以Zn-Al合金靶和O

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公开/公告号CN101882632B

专利类型发明专利
公开/公告日2011-09-07

原文格式PDF
申请/专利权人南开大学;
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申请/专利号CN201010202111.2
发明设计人陈新亮;赵颖;李林娜;倪牮;张晓丹;张建军;耿新华;
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申请日2010-06-18
分类号
代理机构天津佳盟知识产权代理有限公司;
代理人侯力
地址 300071 天津市南开区卫津路94号
入库时间 2022-08-23 09:07:50

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2017-08-11

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 31/0224 授权公告日:20110907 终止日期:20160618 申请日:20100618

专利权的终止
2011-09-07

授权

授权
2011-09-07

授权

授权
2010-12-22

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/0224 申请日:20100618

实质审查的生效
2010-12-22

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 31/0224 申请日:20100618

实质审查的生效
2010-11-10

公开

公开
2010-11-10

公开

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