研磨／抛光方法，研磨／抛光工具及其制造方法

摘要

本发明涉及一种能高精度研磨和抛光工件如透镜而不降低机器利用率或增加机器成本的研磨/抛光工具。为此，本发明提供一种基本圆柱体的研磨/抛光工具，当对工件材料表面进行球面加工时，使相应于工件球面形状的球面抛光面接触工件材料面，并使抛光面绕球形曲率中心振动，从而研磨和抛光工件表面。抛光面的外周缘直径制得与研磨/抛光工具的外径基本一致。