公开/公告号CN1805639B
专利类型发明专利
公开/公告日2011-08-31
原文格式PDF
申请/专利权人 哈利盛东芝照明株式会社;
申请/专利号CN200610002108.X
申请日2006-01-16
分类号
代理机构北京市中咨律师事务所;
代理人段承恩
地址 日本爱媛县
入库时间 2022-08-23 09:07:39
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-03-18
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J 65/00 授权公告日:20110831 终止日期:20140116 申请日:20060116
专利权的终止
2011-08-31
授权
授权
2006-09-13
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-07-19
公开
公开
机译: 极紫外光源装置,用于极紫外光源装置的激光光源装置以及调整用于极紫外光源装置的激光光源装置的方法
机译: 极紫外光源装置,用于极紫外光源装置的激光光源装置以及调整用于极紫外光源装置的激光光源装置的方法
机译: 极紫外光源装置,用于极紫外光源装置的激光光源装置以及调整用于极紫外光源装置的激光光源装置的方法