法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-12-31
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B24D 3/28 授权公告日:20110504 终止日期:20131106 申请日:20091106
专利权的终止
2011-09-21
专利实施许可合同备案的生效 IPC(主分类):B24D 3/28 合同备案号:2011320001070 让与人:南京航空航天大学 受让人:浙江浦江敏锐精密机械科技有限公司 发明名称:带有过渡层和粘接层的固结磨料研磨抛光垫 公开日:20100512 授权公告日:20110504 许可种类:排他许可 备案日期:20110729 申请日:20091106
专利实施许可合同备案的生效、变更及注销
2011-05-04
授权
授权
2010-06-30
实质审查的生效 IPC(主分类):B24D 3/28 申请日:20091106
实质审查的生效
2010-05-12
公开
公开
机译: 使用固定的磨料抛光垫和铜层化学机械抛光解决方案的铜化学机械抛光工艺,特别适用于固定的磨料抛光垫进行化学机械抛光
机译: 使用固定的磨料抛光垫和铜层化学机械抛光解决方案的铜化学机械抛光工艺,特别适用于固定的磨料抛光垫进行化学机械抛光
机译: --使用固定的磨料抛光垫和专门为固定的磨料垫进行化学机械抛光而采用的铜层化学机械抛光溶液进行的铜化学机械抛光工艺