法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-01-21
专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):H01L21/20 登记号:Y2019370000134 登记生效日:20191226 出质人:山东华云光电技术有限公司 质权人:中国工商银行股份有限公司淄博高新支行 发明名称:一种弛豫薄SiGe虚拟衬底的制备方法 授权公告日:20110330 申请日:20090107
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2014-01-15
专利权的转移 IPC(主分类):H01L21/20 变更前: 变更后: 登记生效日:20131220 申请日:20090107
专利申请权、专利权的转移
2014-01-15
专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/20 变更前: 变更后: 登记生效日:20131220 申请日:20090107
专利申请权、专利权的转移
2011-03-30
授权
授权
2011-03-30
授权
授权
2009-08-12
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-08-12
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-06-17
公开
公开
2009-06-17
公开
公开
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机译: 通过离子注入和热退火在Si或绝缘体上硅衬底上的弛豫SiGe层
机译: 通过离子注入和热退火在Si或绝缘体上硅衬底上的弛豫SiGe层
机译: 通过离子注入和热退火在Si或绝缘体上硅衬底上的弛豫SiGe层